进口阀门

气动调节阀

氮气减压阀

防爆电磁阀

进口自力式流量调节阀


进口自力式温控阀


进口自力式调节阀


进口气动调节阀


进口电动调节阀


进口自力式压力调节阀


进口气动薄膜调节阀


超高压调节阀


进口气体调节阀


进口三通调节阀


进口氧气调节阀


进口自力式微压调节阀


进口电动蒸汽调节阀


进口电动温度调节阀


进口电动高压调节阀


进口气动高压调节阀


进口泄氮阀


进口气动低温调节阀


进口气动衬氟调节阀


进口气动三通调节阀


进口锅炉给水调节阀


进口高压旁路调节阀


进口电动套筒调节阀


进口电动三通调节阀


进口电动陶瓷调节阀


进口电动高压角型调节阀


进口防爆电动调节阀


进口调节型电动球阀


进口电动低温调节阀


进口电动衬氟调节阀


进口电动V型调节阀


进口氮封装置


进口流量调节阀


进口温度调节阀


进口压力调节阀


进口电动双座调节阀


进口电子式电动调节阀


进口气动波纹管调节阀


进口气动薄膜单座调节阀


进口气动薄膜隔膜调节阀


进口气动精小型调节阀


进口不锈钢电动调节阀


进口带指挥器自力式压力调节阀


进口压力压差组合调节阀


进口流量压力组合调节阀


进口流量温度组合调节阀


进口自力式压差调节阀


进口自力式微压泄压阀


进口电动减温减压阀


进口气动压力调节阀


进口高温高压调节阀


进口气动卫生级调节阀


进口电动卫生级调节阀


进口电动隔膜调节阀


进口气动保温调节阀


进口电动保温调节阀


进口气动高温调节阀


进口电动流量调节阀


进口电动压力调节阀


进口电动小流量调节阀


进口电动隔膜调节阀


进口气动小流量调节阀


进口蒸汽调节阀


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该设备是高可靠性、高产能、高度自动化的光刻胶喷涂/旋涂和显影设备。可用于100-300mm晶圆集成电路制造的后段黄光光刻胶材料的喷涂和显影;材料包括聚酰亚胺/BCB胶/G线光阻/I线光阻/临时键合光刻胶,以及显影液和有机定影溶剂等材料。


名称:喷胶机
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该设备是高可靠性、高产能、高度自动化的光刻胶喷涂/旋涂和显影设备。可用于100-300mm晶圆集成电路制造的后段黄光光刻胶材料的喷涂和显影;材料包括聚酰亚胺/BCB胶/G线光阻/I线光阻/临时键合光刻胶,以及显影液和有机定影溶剂等材料。

    一、系统控制:

       1 支持SECS/GEM通信协议,支持与MES联动

 2 上位机为windows10操作系统、工业级电脑主机,双硬盘备份,USB数据备份接口

 3 设备各个执行单元均可人机界面显示与控制,提供recipe编辑功能,工艺过程参数可视化

       4 设备具有SPC功能,对于超出工艺规格的参数有warning、alarm功能

       5 设备具有操作人员的权限范围设定功能

   二、工艺单元

      1、 涂胶单元(COT)

涂胶单可配三个,光刻胶喷胶单元,聚酰亚胺匀胶单元,临时键合光刻胶匀胶单元

      1) 所有涂胶单元的化学品供液系统配备过滤器,供液系统具有漏液侦测功能;

      2) 光刻胶喷胶单元包括旋转热板系统、喷嘴扫描系统、超声雾化系统、流速控制系统、控制系统及排液系统等组成;配备Spray超声雾化喷口,喷嘴扫描系统可以按S形扫描涂胶,同时晶圆真空吸盘具有加热能力,使雾化的光刻胶在晶圆表面随形涂敷,适用于表面刻有深孔的高表面形貌圆形基片,可满足TSV/MEMS等高深宽比结构的随形涂胶工艺需求;

      3)聚酰亚胺匀胶单元可配备针筒储液罐,胶臂,精密点胶机和聚酰亚胺喷嘴,腔体CUP,真空承载台,离心电机;配备的精密点胶机和喷嘴可以满足粘度500~10000CP的聚酰亚胺材料的喷涂要求;并配备自动洗边(EBR)/洗背(Back rinse)喷嘴 ( rinse使用NMP溶剂),实现小批量产品的自动喷涂;

      4)临时键合光刻胶匀胶单元配备针筒储液罐,胶臂,精密点胶机和光刻胶喷嘴,腔体CUP,真空承载台,离心电机;配备的精密点胶机和喷嘴可以满足粘度500~20000CP的光刻胶材料的喷涂要求;并配备自动洗边(EBR)/洗背(Back rinse)喷嘴 (rinse使用专用配套洗边剂),实现小批量产品的自动喷涂;

      2、 显影单元(DEV)

      1) 显影单元可配置两个,TMAH显影单元和有机定影溶剂显影单元

      2) 显影单元的化学品供液系统配备过滤器,供液系统具有漏液侦测功能;并配备废料排液口,可以联通厂务端有机排管道

      3) TMAH显影单元配备显影臂,显影柱状/伞状喷嘴,腔体CUP,真空承载台,离心电机,并配备去离子水自动清洗(rinse)/洗背(Back rinse)喷嘴和管路,显影液和清洗液(Rinse)采用中央供液方式或本地供应,实现产品的自动均匀显影。

      4) 有机定影溶剂显影单元配备显影臂,显影喷嘴,腔体CUP,真空承载台,离心电机,显影喷嘴采用不锈钢喷雾型喷嘴(spray nozzle),显影液管路和清洗(Rinse)。管路采用特氟龙材料,显影液和清洗液(Rinse)采用本地供应方式(local supply)或中央供应方式,并配备自动清洗(rinse)/洗背(Back rinse)喷嘴和管路,实现产品的自动均匀显影。

      3、 烘烤和冷却单元(HPADCP)

      1) 热板单元(HP)配备接近式顶针,接触间隙0.1~0.2mm,保证工艺稳定

      2) 热板温度范围:室温-180℃(可选配高温热板)

      3)AD单元配备HMDS气化供应管路,可自动喷涂HMDS

      4)冷盘单元采用循环水制冷方式