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全自动刻蚀机
全自动刻蚀机-AE12P
产品特点:
单片湿法刻蚀设备,能适应HF,HCL,H3PO4等多种刻蚀液,可刻蚀金属有Gr、Ni、Ti、Cu、Au等。本设备工作过程中由摆臂系统旋转交替喷液,多层Cup结构可实现不同刻蚀液的分类排放与回收。专业的工艺腔体结构,在刻蚀电镀或溅射形成的金属膜的前提下,既能保证刻蚀的均匀性、刻蚀率,还可以保证各种化学品的使用安全性。本设备能满足纵向刻蚀深度尺寸较大,横向刻蚀深度精度高的工艺要求,在刻蚀工艺完成后,晶圆刻蚀沟槽和深孔等图形侧壁陡直规整,均匀性可达5%以内。
晶片尺寸
2-12寸


主要技术参数
1、上下料方式: 高效机械手自动传送
2、离心机转速
额定转速: 2000 rpm
最小调整量: 1rpm
转速精度: ±3rpm(50 rpm~2000 rpm)
3、夹持方式: 真空吸附
或多点支撑、四角夹紧、机械安全限位的方式(可选)
4、药液回收循环使用功能。
5、刻蚀液加热:在线加热器,MAX: 50℃±2℃
6、背喷功能:氮气,1路
7、刻蚀液过滤器:0.2um
8、灭火系统:二氧化碳灭火系统

应用行业
广泛应用于LED、分立器件、先进封装、科研等领域。