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迷你型全自动匀胶显影机
迷你型全自动匀胶显影机
产品特点:
Mini型全自动匀胶显影一体设备,采用我司自主研发设计的机器人与胶泵,并在客户端成熟应用。设备功能齐全,EBR、BSR、CUP自动清洗、胶嘴自动保湿清洗等功能都具备。还有针管式胶嘴可选择,大幅减少了光刻胶的使用量。机台结构紧凑、占地面积小。
晶片尺寸
2-6英寸,圆形及方形基片,光刻胶旋涂及显影工艺

主要技术参数
1、晶片尺寸: 2-6英寸
2、上下料方式: 高效机械手自动传送
3、离心机转速
额定转速: 6000 rpm
最小调整量: 1rpm
转速精度: ±2rpm(50 rpm~6000 rpm)
4、吸盘(Chuck)
夹持方式: 真空吸附
吸盘真空检测: 数显真空压力传感器
5、光刻胶/显影液过滤: 有,0.1um/0.2um可选
6、光刻胶种类:          MAX:3(双腔MAX:6)
7、显影液种类:          MAX:2
8、 热处理单元:          热板HP单元(max.180℃) 3个,冷板CP单元1个,根据工艺制程不同可灵活选配
9、滴胶精度:             ±0.1ml ;滴胶范围:0.6-3ml
10、软件功能:            工艺参数数字化检测控制,自由编制、修改、储存、调用工艺程序;故障、生产工艺参数等记录等可长期保存备查
11、工作方式:            自动供胶,自动显影,自动取送片

应用行业
广泛服务于半导体、LED、高端封装、MEMS、OLED、SAW、光通信、科研等领域