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显微镜(代理)
显微镜搬运机-AMX8R
产品特点:
全自动的操作系统,极大地减少人为干预;快速、高效的操作流程,最大程度满足客户产能要求;配备国内优质显微镜观测系统,实现观察和测量的高精度要求,是芯片制造厂的不二选择

项目

规格描述

晶圆尺寸

468寸(可选)

晶圆最小厚度

150um

晶舟类型

开放式晶舟(SEMI Stad.25(26)-slot)

晶舟载台数量

1

检查模式设置

全检 / 奇数检 / 偶数检 / 手动选择

晶舟内晶圆扫描

晶圆预定位

晶圆定位平边及Notch方式

非接触式

晶圆定位平边及Notch

Notch/平边

检查功能

微观检查、晶面宏观检查、晶背宏观检查1、晶背宏观检查2

金相显微镜控制台

全自动载物台

全自动载物台控制台

全自动载物台功能

自动传送、检查模式设置、自动定点、手动定点、自动复归

显微镜

金相显微镜标准配置及功能

机台全尺寸

1800*700*1200

W1*D1*H