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烘箱
高温无尘无氧烤箱—HTCLO40
产品特点:
气流循环装置:内置空调间、循环风道及通风电机。装有空气过滤装置,能将箱内空气过滤,达到100 级洁净度。
晶片尺寸
兼容2-8英寸,圆形及方形基片,各类型电子元器件。

产品特点
1.使用温度:RT~260℃,最高温度:300℃;温度均匀度:±5%(300℃平台);
2.单个箱体有效尺寸:450×650×450mm(W×H×D);腔体材料:SUS304镜面不锈钢;
3.空箱升温时间:每分钟5度;空箱降温时间:300℃-90℃降温时间为1.5小时左右(采用鼓风冷翅片散热器或气体);
4.温度和氧含量记录:无纸记录仪;
5.氧含量(配氧分析仪):
高温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量
低温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量
6.控制:腔体可独控温、通气、报警保护;排风口:一个;
7.控温仪表:日本理化FP23温控仪;控温段数:20×20段;控温点数:一点;
8.高温开炉门保护:当温度超过100℃,电子锁自动锁紧,防止高温开门
9.表面温升:<30℃;加热功率:15kW;保温功率:≤9kW;
10.电源: 功率80KVA,3相5线,220/380VAC,50Hz;设备重量:约1000Kg;

应用行业
广泛服务于半导体、先进封装、MEMS、光通信、科研等领域